臺(tái)式表面粗糙度輪廓儀
特點(diǎn)
• 三豐表面粗糙度測(cè)量?jī)x系列產(chǎn)品 ，可進(jìn)行高精度、高水平分析，多功能3D表面粗糙度分析，微細(xì)輪廓測(cè)量，以及原有的表面粗糙度測(cè)量。
• 自動(dòng)調(diào)水平工作臺(tái)、3 軸調(diào)整臺(tái)等外部設(shè)備的應(yīng)用，有效增強(qiáng)了該產(chǎn)品的操作性能，同時(shí)也真正實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)測(cè)量。
• 安裝了專業(yè)資料分析軟件SURFPAK-SV 使用這一軟件，可對(duì)從車間和實(shí)驗(yàn)室中得到的資料進(jìn)行統(tǒng)一格式的管理。
• 采用陶瓷制作的 X 軸驅(qū)動(dòng)部導(dǎo)軌，因?yàn)樘沾删哂袠O好的防磨損性能。無需潤滑油也能正常工作。
• 為了保證高精度測(cè)量，在 X 軸 和Y 軸(選件)上都內(nèi)置了高清晰度的玻璃尺(X 軸分辨率：0.05μm, Y 軸分辨率：1μm) 因?yàn)橐ＷCSV-3100 系列產(chǎn)品具有高度的可靠性，特別是對(duì)于水平粗糙度參數(shù)(S, Sm), X軸的分辨率就必須達(dá)到相當(dāng)?shù)乃健?/span>
• 配有多種功能，如“直線度補(bǔ)償功能” ，可確保X 軸的線性精度；“圓度補(bǔ)償功能”，可保證測(cè)針的垂直移動(dòng)；以及“針尖半徑補(bǔ)償功能”等。
• 測(cè)針和測(cè)針導(dǎo)頭都可輕松替換?？蛇x測(cè)針和滑軌可適應(yīng)各種粗糙度測(cè)量的需要，如小孔測(cè)量、深孔測(cè)量等。
• 在各種型號(hào)中，還提供了易于操作的控制箱。控制箱與主機(jī)分離，可遙控執(zhí)行定位、開始／停止測(cè)量、返回以及遠(yuǎn)程進(jìn)行其他操作。驅(qū)動(dòng)部的上／下位置和X 軸的移動(dòng)都可手動(dòng)進(jìn)行微調(diào)。配有高精度測(cè)針。
SV-C4000CNC系列的輪廓驅(qū)動(dòng)器配備激光全息光柵尺，可提高寬／窄范圍測(cè)量精度和Z1軸分辨率。 通過同時(shí)控制X軸和Y軸的方向，可實(shí)現(xiàn)傾斜平面的測(cè)量。 通過簡(jiǎn)單的一次性操作，可更換形狀／輪廓測(cè)量裝置與表面粗糙度測(cè)量裝置，并且，不必對(duì)連接電纜重新布線。 由于Z1軸檢測(cè)器內(nèi)置了防撞器，當(dāng)檢測(cè)器主體即將碰撞工件或夾具時(shí)，檢測(cè)器將自動(dòng)停機(jī)。 配有易于操作的遙控箱：通過兩個(gè)操縱桿，選定需要操作的軸，即可實(shí)現(xiàn)任何移動(dòng)。鍵上端的軸向圖標(biāo)易于辨認(rèn)，輕松操作。 通過USB與數(shù)據(jù)處理／分析器通信。
特點(diǎn)
高精度CNC表面粗糙度／形狀測(cè)量?jī)x，一機(jī)二用：可進(jìn)行表面粗糙度和形狀／輪廓測(cè)量。
每軸驅(qū)動(dòng)速度高可達(dá)200mm/秒，實(shí)現(xiàn)高速定位，滿足多輪廓／多工件的測(cè)量任務(wù)。
帶á軸的機(jī)型可通過電動(dòng)傾斜檢測(cè)器，對(duì)水平和傾斜表面進(jìn)行連續(xù)測(cè)量。
帶Y軸工作臺(tái)的機(jī)型可通過Y軸軸向定位，擴(kuò)大測(cè)量任務(wù)的范圍，如多工件任務(wù)等。
SV-C4000CNC系列的輪廓驅(qū)動(dòng)器配備激光全息光柵尺，可提高寬／窄范圍測(cè)量精度和Z1軸分辨率。
通過同時(shí)控制X軸和Y軸的方向，可實(shí)現(xiàn)傾斜平面的測(cè)量。
通過簡(jiǎn)單的一次性操作，可更換形狀／輪廓測(cè)量裝置與表面粗糙度測(cè)量裝置，并且，不必對(duì)連接電纜重新布線。
由于Z1軸檢測(cè)器內(nèi)置了防撞器，當(dāng)檢測(cè)器主體即將碰撞工件或夾具時(shí)，檢測(cè)器將自動(dòng)停機(jī)。
配有易于操作的遙控箱：通過兩個(gè)操縱桿，選定需要操作的軸，即可實(shí)現(xiàn)任何移動(dòng)。鍵上端的軸向圖標(biāo)易于辨認(rèn)，輕松操作。
通過USB與數(shù)據(jù)處理／分析器通信。
基本技術(shù)參數(shù):
基座尺寸(WxH):750x600mm
基座材料:花崗巖
重量:240kg,250kg(高立柱型)
電源:100–240VAC±10%,50/60Hz
能耗:500W(主機(jī))
輪廓測(cè)量技術(shù)參數(shù):
X1軸
測(cè)量范圍:200mm
分辨率:0.05μm
檢測(cè)方法:反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:200mm/s(大CNC)
0-60mm/s(操縱桿)
測(cè)量速度:0.02-2mm/s
移動(dòng)方向:向前／向后
直線度:2μm/200mm
*以X軸為水平方向上
指示精度:±(1+0.02L)μm, (20°C時(shí))*L為驅(qū)動(dòng)長度(mm)
a軸
傾角:-45°至+10°
分辨率:0.000225°
旋轉(zhuǎn)速度:1rpm
Z2軸(立柱)
垂直移動(dòng):300mm或500mm
分辨率:0.05μm
檢測(cè)方法:反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:200mm/s(大CNC)
0-60mm/s(操縱桿)
Z1軸(檢測(cè)器)
測(cè)量范圍:±25mm
分辨率:0.2μm(SV-C3100CNC),0.05μm(SV-C4100CNC)
檢測(cè)方法:線性編碼器(SV-C3100CNC),
激光全息測(cè)微計(jì)(SV-C4100CNC)
直線位移:±(3+I2HI/25)μm(SV-C3100CNC)
精度：(20°C時(shí))±(0.8+I0.5HI/25)μm(SV-C4100CNC)
*H為基于水平位置的測(cè)量高度(mm)
測(cè)針上／下運(yùn)作:弧形移動(dòng)
測(cè)針方向:向下
測(cè)力:30mN
跟蹤角度:向上:70°,向下:70°(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)
測(cè)針針尖半徑:25μm、硬質(zhì)合金
表面粗糙度測(cè)量的技術(shù)參數(shù)：
X1軸
測(cè)量范圍:200mm
分辨率:0.05μm
檢測(cè)方法:反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:200mm/s(大CNC)
0-60mm/s(操縱桿)
測(cè)量速度:0.02-2mm/s
移動(dòng)方向:向后
直線度:0.5μm/200mm
a軸
傾角:-45°至+10°
分辨率:0.000225°
旋轉(zhuǎn)速度:1rpm
Z2軸(立柱)
垂直移動(dòng):300mm或500mm
分辨率:0.05μm
檢測(cè)方法:反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:200mm/s(大CNC)
0-60mm/s(操縱桿)
檢測(cè)器(選件)
范圍／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(使用測(cè)頭選件時(shí)，大可達(dá)2400μm)
檢測(cè)方法:無軌／有軌測(cè)量
測(cè)力:4mN或0.75mN(低測(cè)力型)
測(cè)針針尖:金剛石、90o/5μmR
(60o/2μmR:低測(cè)力型)
導(dǎo)頭曲率半徑:40mm
檢測(cè)方法:差動(dòng)電感式
選件
防震臺(tái)架
防震臺(tái)裝置:膜片空氣彈簧
自然頻率:2.5-3.5Hz
減震機(jī)構(gòu):阻尼孔
調(diào)水平裝置:帶機(jī)械閥的自動(dòng)控制裝置
氣源氣壓:0.4Mpa
承載:350kg
尺寸(WxDxH):1000x895x715mm
重量:280kg
Y軸工作臺(tái)裝置
測(cè)量范圍:200mm
小讀數(shù):0.05μm
標(biāo)尺裝置:反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:200mm/s(大CNC)
0-60mm/s(操縱桿)
大承載能力:20kg
直線度:0.5μm/200mm
指示精度(20°C時(shí)):
±(2+2L/100)μm，輪廓模式
L為兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)之間的距離(mm)
工作臺(tái)尺寸:200x200mm
尺寸(WxDxH):320x646x105mm
重量:35kg
